탄탈륨 스퍼터링 타겟
China Super Tech는 고객의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 순도와 모양의 탄탈룸 스퍼터링 타겟을 제공합니다.
- 제품 소개
제품 설명
China Super Tech는 고객의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 순도와 모양의 탄탈룸 스퍼터링 타겟을 제공합니다. 다른 증착 방법에 비해 스퍼터링된 필름은 기판에 대한 접착력이 더 좋고 탄탈륨(융점 2998도)과 같이 융점이 매우 높은 재료를 쉽게 스퍼터링할 수 있습니다. 당사의 제품은 평균 입자 크기가 작고 순도와 밀도가 높은 증착 공정에서 안정적으로 작동하도록 특별히 설계되었습니다.
제품 매개변수
| 재료: | RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W) |
| 기준: | ASTM B708 |
| 청정: | 3N, 3N5, 4N, Ta 99.99%min 포함 |
| 모양: | 원형, 정사각형, 사용자 정의 |
| 크기: | 원형 타겟: 직경 15mm ~ 400mm x 두께 3mm ~ 28mm 직사각형 타겟: 두께 1mm ~ 40mm x 너비 최대 1000mm x 길이 최대 3000mm |
| 입자 크기: | ASTM 4 이상 |
| 평탄: | 0.1mm 또는 최대 0.15 |
| 용인: | 모든 치수에서 ±0.010mm |
응용
스퍼터링 타겟은 주로 집적 회로, 정보 저장, 액정 디스플레이 화면, 레이저 메모리, 전자 제어 장치 등과 같은 전자 및 정보 산업에 사용됩니다. 또한 유리 코팅 분야에도 사용할 수 있으며 내마모성 재료, 고온 내식성, 고급-등급 장식 제품 및 기타 산업에 적용할 수 있습니다.
탄탈륨 스퍼터링 타겟을 선택하는 이유는 무엇입니까?
강한 접착력: 필름과 기판 사이의 강한 결합을 보장합니다.
폭넓은 적용성: 다양한 고-융점-재료에 적합합니다.
안정적인 성능: 작은 입자 크기, 고순도, 고밀도.
다양한 선택: 다양한 고객의 요구를 충족합니다.
FAQ
FAQ
Q: 탄탈륨 타겟을 접착해야 합니까?
A: 네, 확실히 그렇습니다.
탄탈륨 타겟은 편평한 평면 타겟이든 회전하는 타겟이든 매우 얇고, 부서지기 쉬우며 꽤 비싼 경우가 많습니다. - 스퍼터링 중에 제대로 지지되지 않으면 쉽게 깨질 수 있습니다. 이것이 바로 우리가 구리 또는 알루미늄 백킹 플레이트에 접착하는 이유입니다. - 스퍼터링 공정 중에 균열을 방지하고 열을 훨씬 더 잘 발산하는 데 도움이 됩니다. 그것은 그들에게 작업할 수 있는 견고한 기초를 제공하는 것과 같습니다!
Q: 얼마나 오래 지속되나요?
A: 타겟은 소모품으로 간주되며 수명은 스퍼터링 전력, 냉각 효율 및 타겟 두께에 따라 달라집니다. 냉각수의 적절한 유지 관리와 완전히 평평한 음극 표면을 보장하는 것은 타겟 수명을 극대화하고 파손을 방지하는 데 중요합니다.
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